1. O formulário é amplamente utilizado no projeto de oficinas de salas limpas de pequena escala e baixa qualidade. Para grandes áreas de oficinas limpas de alta qualidade, o custo de operação é muito alto.o espaço é muito grande e outras deficiências.
2.O design do formulário pode atender aos requisitos de grande área e alto nível de oficina livre de poeira de fabricação de circuitos integrados, mas o custo de operação é alto e a velocidade do vento e o volume de ar da sala limpa são difíceis de ajustar, e o O sistema é difícil de atualizar e transformar, portanto a flexibilidade de operação não é particularmente alta.
3.O sistema de circulação principal não apenas economiza espaço de operação, limpeza, alta segurança, baixo custo de operação e alta flexibilidade operacional, pode não afetar a situação de produção a qualquer momento para atualização e ajuste do sistema, pode atender bem às necessidades de fabricação de semicondutores , portanto, no sistema de circulação do cabeçote de fabricação de semicondutores, gradualmente se tornou o principal esquema de projeto de purificação